Single Crystal Silicon Ingot Featured Image

Нэг болор цахиурын ембүү

Тодорхойлолт

Нэг болор цахиурын ембүүis ихэвчлэн ургадаг нарийн допинг болон татах технологиор Czochralski CZ, Magnetic field induced Czochralski MCZ болон Floating Zone FZ аргуудаар том цилиндр хэлбэртэй ембүү хэлбэрээр.CZ арга нь электроникийн салбарт хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд ашигладаг 300 мм хүртэлх диаметртэй том цилиндр хэлбэртэй ембүү цахиурын талст өсөлтөд хамгийн өргөн хэрэглэгддэг.MCZ арга нь харьцангуй бага хүчилтөрөгчийн концентраци, бага хольцын концентраци, бага мултрал, жигд эсэргүүцлийн өөрчлөлтийг бий болгох соронзон орон нь цахилгаан соронзон үүсгэсэн CZ аргын хувилбар юм.FZ арга нь 1000 Ом см-ээс дээш өндөр эсэргүүцэлтэй, хүчилтөрөгчийн агууламж багатай өндөр цэвэршилттэй болорыг бий болгоход тусалдаг.

Хүргэлт

Western Minmetals (SC) корпорацын n-type эсвэл p-type дамжуулалттай CZ, MCZ, FZ эсвэл FZ NTD Single Crystal Silicon Engot-ийг 50мм, 75мм, 100мм, 125мм, 150мм, 200мм диаметртэй (2, 3) нийлүүлэх боломжтой. , 4, 6 ба 8 инч), чиг баримжаа нь <100>, <110>, <111> гадаргуутай, дотор нь гялгар уутанд хийж, гадна талд нь картон хайрцагтай, эсвэл төгс шийдэлд хүрэхийн тулд захиалгат техникийн шинж чанартай.

Одоо лавлана уу

Дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Шошго

Техникийн тодорхойлолт

Нэг болор цахиурын ембүү

Нэг болор цахиурын ембүү CZ, MCZ, FZ эсвэл FZ NTDWestern Minmetals (SC) корпорацын n-type эсвэл p-type дамжуулалттай 50мм, 75мм, 100мм, 125мм, 150мм ба 200мм диаметртэй (2, 3, 4, 6 ба 8 инч), чиг баримжаа <100 хэмжээтэй нийлүүлэх боломжтой. >, <110>, <111> гадаргуутай, гялгар уутанд хийж, гадна талд нь картон хайрцагтай, эсвэл төгс шийдэлд хүрэхийн тулд захиалгат үзүүлэлтээр.

Үгүй	Эд зүйлс	Стандарт тодорхойлолт
1	Хэмжээ	2", 3", 4", 5", 6", 8", 9.5", 10", 12"
2	Диаметр мм	50.8-241.3, эсвэл шаардлагатай бол
3	Өсөлтийн арга	CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD
4	Дамжуулах чадварын төрөл	P-төрөл / Бор хольцтой, N-төрөл / Фосфидын хольцтой эсвэл Нэмэлтгүй
5	Урт мм	≥180 эсвэл шаардлагатай бол
6	Баримтлал	<100>, <110>, <111>
7	Эсэргүүцэл Ω-см	Шаардлагын дагуу
8	Нүүрстөрөгчийн агууламж a/см³	≤5E16 эсвэл шаардлагатай бол
9	Хүчилтөрөгчийн агууламж а/см³	≤1E18 эсвэл шаардлагатай бол
10	Металлын бохирдол а/см³	<5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) эсвэл <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn)
11	Савлах	Дотор нь гялгар уут, гадна талд нь фанер хайрцаг эсвэл картон хайрцаг.

Тэмдэг	Si
Атомын дугаар	14
Атомын жин	28.09
Элементийн ангилал	Металлоид
Бүлэг, үе, блок	14, 3, П
Кристал бүтэц	Алмаз
Өнгө	Хар саарал
Хайлах цэг	1414°С, 1687.15 К
Буцлах цэг	3265 ° C, 3538.15 К
Нягт 300K	2.329 г/см³
Дотоод эсэргүүцэл	3.2E5 Ом-см
CAS дугаар	7440-21-3
EC дугаар	231-130-8

Нэг болор цахиурын ембүү, бүрэн боловсорч гүйцсэний дараа өөрийн эсэргүүцэл, хольцын агууламж, болор төгс байдал, хэмжээ, жинг зөв диаметртэй цилиндр болгохын тулд алмазан дугуй ашиглан газардуулж, нунтаглалтын явцад үлдсэн механик согогийг арилгахын тулд сийлбэрийн процесст ордог. .Дараа нь цилиндр хэлбэртэй ембүүгийг тодорхой урттай блок болгон хайчилж, ховил, анхдагч эсвэл хоёрдогч хавтгайг автоматжуулсан өрөмтэй харьцах системээр тэгшлэхийн тулд талстографийн чиг баримжаа, дамжуулалтыг тодорхойлохын тулд доод тал руу зүсэх үйл явцын өмнө өгдөг.